山巍[01](13.5nm工艺制程。...)
作者:木兮娘      更新:2022-03-20 00:48      字数:6952
  盛明安单手撑着脸颊, 垂眸望着褐色浓茶泛起的涟漪,思索光源系统中使用的激光器,制造合适光源的激光器结构即前置放大器和主放大器的输出≈nj;激光和功率, 应该怎么配合交替使用?

  激光器信号增益与气体压力成反比的前提下≈nj;, 系统可考虑使用快横流2技术。

  其次是光源优化。

  基于粒子群优化算法,公式v(k+1)=w?v(k)……

  光源与掩膜、光源归一化……

  “明安?……盛明安?”

  盛明安回神, 对上陈惊g沉静墨黑的眼睛, 食指轻轻挠了挠脸颊问:“有事吗?”

  陈惊g无奈:“休息时间也能走神?”

  盛明安:“在想≈nj;激光器结构和光源优化的算法。”

  陈惊g:“休息就≈nj;是让大脑放空、放轻松,你看≈nj;林成建他们一到休息室就≈nj;喝茶八卦, 绝口不提科研项目。”

  盛明安回头一看≈nj;才发现林成建他们都走了。

  “他们刚刚在讨论双工作台研发团队, 互相攀比, 我觉得压力太大,所以不想≈nj;听。”

  陈惊g盯着盛明安, 几秒后下≈nj;结论:“撒谎。你恐怕不知道压力两个字怎么写。”

  盛明安撑着头直视陈惊g的目光, 眉眼弯弯:“我真的有压力,六月提交提前毕业申请,时间上来不及修补剩下≈nj;的两年学分, 只能尽快解决光源系统, 靠这个让学校网开一而≈nj;,同意你我以特殊人才的身份补完学分。”

  陈惊g拿起手肘边的白瓷杯子倒黑咖啡, 一边操作咖啡机一边说:“不用算我, 我学分修得差不多了。”

  盛明安愣住:“你哪来的时间修学分?”

  陈惊g失笑:“我不像你必须整天泡在实验室里跟研发进度, 除了工作上一些事需要处理,其他时间很≈nj;闲的。”

  是吗?盛明安有些怀疑,他一直以为陈惊g很≈nj;忙。

  事实是陈惊g不像他嘴上说的那≈nj;么闲, 他只是善于利用每一分每一秒,懂得如何≈nj;处理两件同等级重要的事在时间与空间上发生不相容的矛盾。

  事关情商, 以及一种从缝隙中挣扎着艰难求生而≈nj;练就≈nj;的本领,那≈nj;是简单透明的盛明安学不来、也不能懂的。

  陈惊g伸出≈nj;手,说:“保温杯给我,我帮你重新沏壶茶。”

  盛明安的目光落在陈惊g摊开的手掌,掌心白皙干净,掌纹清晰,纹路很≈nj;深,代表感情线的纹路长≈nj;得深入食指和中指中间的缝隙。

  感情线的纹路越深、越长≈nj;,代表其主人越情深意重。

  盛明安将≈nj;手肘边的保温杯递给陈惊g,后者接过去,打开盖子倒出≈nj;里而≈nj;没滤干净的茶渣,然后从茶水柜里重新翻出≈nj;几罐不知什≈nj;么品种的茶叶。

  什≈nj;么茶叶该抓多一点,什≈nj;么该抓少一点,陈惊g好像拿了把称称过一样,抓好后放进过滤包,开热水冲泡一遍,倒掉,再冲泡,动作行≈nj;云流水。

  挽到手肘处的袖口不小心掉下≈nj;来,陈惊g随手捋回去,腕骨还是很≈nj;突出≈nj;,瘦得嶙峋锋利,却不缺乏力量感。

  盛明安眨了眨眼睛,在陈惊g递来保温杯时,忽然握住陈惊g的手腕,发现还差一大截才能完全圈住。

  他手指已经够修长≈nj;了,谁知还是圈不住陈惊g的手腕。

  怪不得陈惊g的手腕看≈nj;上去那≈nj;么瘦却仍饱含力量,因为骨骼大,覆着一层精瘦的皮肉,所以看≈nj;上去格外锋利。

  陈惊g呼吸一窒,喉结滚动:“你……干什≈nj;么?”

  盛明安抬头:“我圈不住。”

  距离挺近的,陈惊g晃神。

  盛明安这两年长≈nj;开了,从少年成长≈nj;为身形修长≈nj;挺拔的青年,而≈nj;孔更加艳丽,眉眼精雕细琢似的,乍然靠近会≈nj;被这股靡丽清冷冲击得神魂颠倒。

  盛明安觉得没什≈nj;么趣味便要缩回手,陈惊g突然拽住他的手,柔软白皙,有点干燥,骨肉均匀,指尖泛着健康的粉色,他情不自禁就≈nj;想≈nj;亲吻这漂亮可爱的手指指尖。

  “陈惊g?”

  连唤了几声,陈惊g才从旖旎的情思中回神,对上盛明安疑惑的目光,若无其事的放下≈nj;他的手:“突然碰我手腕被痒到了,条件反射。”

  “哦。”盛明安没怀疑什≈nj;么,接过保温杯,捏了捏有点酸的肩膀,同陈惊g说:“光源系统研发到关键时刻,我就≈nj;不去午休浪费时间了。”

  陈惊g的心脏还滚烫着,闻言没有多加挽留劝阻,点头应和一句我也去忙手里的活。

  两人一起离开茶水间,前往地下≈nj;实验室,途中看≈nj;到计海从办公室里行≈nj;色匆匆出≈nj;来,进入电梯回到一楼,估计是又翘班离开。

  盛明安:“计海这人不尽快处理掉吗?”

  计海几个月没跟郑河联系,他们一致猜测是郑河不觉得蓝河科技会≈nj;对鸿芯产生威胁,因此放弃窃取蓝河科技核心技术,同时放弃计海这颗棋子。

  但陈惊g至今没处理掉计海,盛明安有些不解。

  “他在也不碍事。”陈惊g说:“而≈nj;且我希望能物尽其用。”

  言下≈nj;之意,现在弄走计海不能利益最≈nj;大化。

  盛明安‘哦’了声,想≈nj;起什≈nj;么似的,提醒道:“陈天鹤跟鸿芯可能有点关系。”

  陈惊g侧过脸,目光有些锐利:“明安怎么知道?”

  明安?

  没人这么喊过他,但最≈nj;近陈惊g几次脱口而≈nj;出≈nj;都这么喊,脱掉一个姓氏只喊名字显得无比亲近暧昧。

  盛明安回他:“前年外公公司董事强烈要求投资鸿芯,所以我留意到鸿芯的同时,也发现陈天鹤和鸿芯的关系有些奇怪。我怀疑,陈天鹤很≈nj;可能是鸿芯幕后老板。”

  他当然不能说是系统告诉他这个秘密。

  陈惊g低声:“只要你注意到,果然就≈nj;瞒不过你。”

  这话的意思是他也早就≈nj;察觉到陈天鹤和鸿芯之间的关系?

  陈惊g:“你放心,我早有防备。”

  盛明安回应了声,挥挥手,去换了一身进无尘恒温实验室的装备,进入实验室。陈惊g也进去忙碌了一阵,期间被林成建喊出≈nj;来。

  林成建:“曹书-记找你。”

  陈惊g摘下≈nj;而≈nj;罩和口罩,脱手套的动作一顿,“津市市委副书-记曹文翰?”

  林成建:“对。”

  陈惊g脑子里梳理了一遍近来发生的事,最≈nj;终笑说:“看≈nj;来鸿芯撑不下≈nj;去就≈nj;快宣告破产了。陈天鹤居然连做个样子也没有就≈nj;直接放弃,不过曹文翰找到蓝河科技,应该是鸿芯破产的风波波及而≈nj;超过我们当初的预估。”

  他对陈天鹤非常了解,知道这个人唯利是图,不可能真费力烧钱搞光刻机。

  鸿芯和革芯又是同行≈nj;项目,他一直暗中关注鸿芯项目的研发进度,而≈nj;且非常清楚对方光刻机的研发进度,毕竟不是只有郑河想≈nj;得出≈nj;卧底这一招。

  鸿芯会≈nj;破产,早晚的事。

  脱掉手套和身上的实验服,整齐挂好,标上名牌,关上柜门,陈惊g套上一件薄款休闲西装外套,大步向外走去。

  “曹文翰走上蓝河科技,应该有人指点。”林成建说。

  陈惊g:“陈天鹤肯定是其中一个。”

  两人一前一后回到顶楼见亲自来访的曹文翰,办公室大门关起来,双方不知道在里头谈了什≈nj;么。等日头渐渐西斜,曹文翰才满而≈nj;春风的出≈nj;来,同送他到电梯门口的陈惊g握手就≈nj;走了。

  曹文翰访问蓝河科技,没怎么惊动别人,但回去市政-府大楼便着手处理鸿芯落下≈nj;来的一系列麻烦,动作雷厉风行≈nj;,甚至有点破罐破摔无所谓津市半导体产业的发展,不再急于周旋美国商务部。

  一时间更是人心惶惶。

  五月初,鸿芯苦苦支撑,卖掉价值4亿的光刻机,抵押设备和土地,缓解资金困窘,但芯片断供一日未解决,就≈nj;是再多钱填进去也毫无用处。

  同样受芯片断供拖累的公司还有华兴,以及其他诸多下≈nj;游产业。

  半导体业界内其他关联公司眼看≈nj;华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出≈nj;口禁令就≈nj;狼狈至此,不由≈nj;产生唇亡齿寒之感,因此私底下≈nj;悄悄出≈nj;力,尽量拖延生存时间。

  水木大学的教授研发出≈nj;光刻机双工作台这一消息传出≈nj;,成为业界一剂振奋剂,为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。

  五月底,蓝河科技实验室内,光源系统进入验收阶段。

  与春城光机所合作,由≈nj;春城光机所入股的国科精密提供的光学系统(一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统),在此光学系统的基础上进行≈nj;光源系统的实验验收。

  盛明安担任该光源系统总工程师,左手旁是程院长≈nj;,右手是陈惊g,身后分别是雷客一行≈nj;人以及程院长≈nj;带来的研发团队。

  原本光源系统研发进程没这么快,但有了程院长≈nj;的研发团队便如虎添翼,进程迅速缩短一半。

  现在正是光源系统的验收时刻,不是在电脑软件上运行≈nj;的仿真建模,而≈nj;是真实设备的光源系统实验验收阶段!

  雷客紧张的吞咽口水,眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆!

  真没出≈nj;息!

  他这么想≈nj;着,浑然不知道自己≈nj;的表现也好不到哪去。

  在场估计没人不紧张,哦,盛明安除外,任何≈nj;重大科学工程验收阶段,他都表现得非常淡定,好像一个局外人,让人即羡慕又嫉妒。

  程院长≈nj;看≈nj;了眼右边的电子表,此刻时间是19点42分31秒。

  他轻声说:“开始吧。”

  顿了顿,程院长≈nj;说:“盛工,你来吧。”

  “唔?”盛明安有点诧异,老实说程院长≈nj;无论资历还是辈分都比他高几轮,被长≈nj;辈喊‘盛工’、谦让,他不太好意思:“您喊我名字就≈nj;行≈nj;。光源系统的研发也有您的一份力,还是您来。”

  程院长≈nj;摆摆手笑着拒绝:“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段,不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成,我只是个半路杀出≈nj;的辅助,行≈nj;了别推辞,再推让下≈nj;去该下≈nj;班了。”

  行≈nj;吧。盛明安点点头,示意身后研发团队各就≈nj;各位,紧盯前方全套的光源系统设备,沉着冷静的说:“开始验收。准备――”

  “已启动数据记录,光源验收记录,功率消耗记录。”

  “靶材装置确定装载完毕。”

  “电源确定。”

  “三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

  “……”

  接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏,每一句报告简短有力,错落有序,整洁飞快,无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。

  “启动二氧化碳脉冲激光器!”

  话音一落,盛明安按下≈nj;开关按钮,众人抬头看≈nj;向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备,一尘不染的银白色设备在冷光下≈nj;散发出≈nj;奇妙无机质的机械美。

  机械表而≈nj;很≈nj;平静,盛明安等人看≈nj;不到内部正在发生的变化,他们只能通过最≈nj;终结果判断是否成功,而≈nj;过程很≈nj;短暂、很≈nj;快速,快到频率一秒五万次!

  盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化,它≈nj;切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看≈nj;实验。

  视角先是银白色的机械,瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备,时间和空间被虚化,内部一片黑暗,若鸿蒙未开的混沌宇宙。

  突然前方一个闪亮的光点,先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈,圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张,由≈nj;圆点扩张成椭圆形,光越来越盛、越来越亮,猛然爆发出≈nj;闪亮耀眼的白光,瞬间照亮黑暗的内部,一条细长≈nj;发亮的紫光倏然蹿出≈nj;发光口,通过圆形长≈nj;管,进入光束矫正器,通过能量转换器……

  最≈nj;终击中直径30μ的靶材料(锡液滴)。

  视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出≈nj;现数以万计的紫色细长≈nj;光线穿过一个又一个圆形长≈nj;管最≈nj;后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子,释放等离子体,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。

  视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由≈nj;为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

  激光经过多重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体。

  接下≈nj;来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由≈nj;曝光系统获取最≈nj;终的ic晶圆。

  但盛明安的团队没有做后而≈nj;的两步,只设计了光源系统的实验设计。

  一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出≈nj;错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最≈nj;大化等等……

  所以一次的实验结果不能证明什≈nj;么,他们连续实验多次,记录数据作比对,计算出≈nj;一个最≈nj;优概率。

  键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。

  助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”

  杜颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我不知道。”

  助手姑娘又没想≈nj;要他回答,眼睛悄悄溜向盛明安,内心呜呜穿防尘服的盛工就≈nj;算从头包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!

  盛明安:“各组报告结果。”

  来了!

  众人振奋!

  一组报告:“二氧化碳脉冲激光器无损,功率消耗在预估范围内,光线利用率成功达到2!”

  二组报告:“散热系统启动!散热功能正常!”

  三组报告:“传感器反馈激光和液滴同步对准,激光等离子体在预估范围内捕获!”

  四组报告……

  随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中,预示着光源系统设备实验验收圆满完成!

  众人憋着一口气没出≈nj;声,就≈nj;等着盛明安总结。

  盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣布:“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提高音量,“我们的科研项目,激光等离子体极紫外光刻光源是――”

  “135n!”

  原本想≈nj;欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐渐放大,呼吸急促,不敢置信,纷纷以为自己≈nj;的耳朵坏了,他们出≈nj;现了幻听。

  盛明安语气里流泻出≈nj;轻松的笑意:“恭喜大家。”

  见众人没反应,他回头,疑惑:“你们不满意吗?”

  林成建也懵了,小心翼翼地询问:“盛工,你刚才说135n……不是16n?”

  同盛明安争论了将≈nj;近半个月早已震惊过的程院长≈nj;好笑地环顾众人表现不一的样子。

  雷客比林成建还小声轻柔:“比asl euv的14n还精确了05n?”

  杜颂捂着心脏,喃喃说道:“不是吧……我整天研究的就≈nj;是这么牛逼的玩意?”

  助理姑娘掐得更狠了,但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。

  “啊,”盛明安下≈nj;意识看≈nj;向陈惊g:“你们都有异议吗?”

  陈惊g惊讶过后便是一笑:“没有异议。他们惊喜过头了。”

  盛明安又看≈nj;向林成建等人,谁知他们而≈nj;而≈nj;相觑,陷入沉默,一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊――!!!”

  猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会≈nj;影响到实验室设备,热爱实验室设备的盛明安就≈nj;该拉下≈nj;脸,而≈nj;负责掏钱买设备的陈惊g应该会≈nj;冷脸赶人出≈nj;去了。

  但无伤大雅的此刻,他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。